全国首台国产化石阶仪在东莞松山湖成功研制

中新网粤东报导6月21日电 (李映民 李获)位于粤东宝安松山湖高新区的松山湖金属材料科学实验精密容器开发设计他的团队亦同尝试自研走道容，实现了研制成功走道容零的突破，加速国产替代。

走道容，又名遮罩式表面呈圆形容，用于样品表面从微米到单晶的呈圆形精确测量，是工程技术、半导体、诊疗、科学研究和生命科学等领域最主要的不可或缺精确测量设备。长期以来，此类容器被美国和日本人厂商垄断，国内尚无厂商可提供升级版。

2020年，松山湖金属材料科学实验精密容器开发设计他的团队对走道容开发设计工程项目发起挑战，2022年6月，正式手把投入使用。

“走道容开发设计占有‘四个的大’——的大精细的运动控制，的大精密位移传感，的大低噪声信号采集以及的大高平整度零部件。这四个不可或缺技术，实现了走道容的整机开发。”松山湖金属材料科学实验精密容器开发设计他的团队负责人许智表示，该容器从应用场景层面看，可以替代进口。

松山湖金属材料科学实验精密容器开发设计他的团队负责人许智表示，研制成功走道容平均单价是进口的大概六到七成，可以降低用户的供货成本。未来，他的团队还将推出更在经济上的型号，预计单价为进口的一半左右。